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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱(chēng):雙溫區(qū)管式爐

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-O1200-Φ80-200×200-T
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
雙溫區(qū)管式爐設(shè)備由雙溫區(qū)管式爐、溫控蒸發(fā)器、濕度監(jiān)測(cè)器三部分組成。溫控蒸發(fā)器和濕度監(jiān)測(cè)器的組合可以持續(xù)產(chǎn)生符合試驗(yàn)配比要求的水蒸氣,即通過(guò)觀察濕度監(jiān)測(cè)器的示數(shù),相應(yīng)的調(diào)節(jié)溫控蒸發(fā)器的加熱速率即可調(diào)節(jié)水蒸氣產(chǎn)生速率。雙溫區(qū)管式爐若再配合三路浮子流量計(jì)即可實(shí)現(xiàn)對(duì)通入氣體成份和濕度的準(zhǔn)確控制,適用于CVD工藝中的液體源和化學(xué)前體輸送。
詳情介紹:

該雙溫區(qū)真空管式爐不僅可以抽真空,也可以通保護(hù)性氣氛。開(kāi)啟式爐膛結(jié)構(gòu)有利于爐管拆卸和觀察物料裝載,操作簡(jiǎn)單。透明石英管腔體可以直觀的看到樣品的燒結(jié)狀態(tài)。本管式爐爐管水平穿過(guò)爐膛,加熱元件呈四周均勻分布,溫場(chǎng)均勻,爐管內(nèi)部和爐膛之間的內(nèi)外溫差可控制在3度左右。爐體設(shè)計(jì)有緩沖上蓋支撐結(jié)構(gòu)讓操作時(shí)可**開(kāi)啟。

該款雙溫區(qū)真空管式爐的組合主要適用于需要控制反應(yīng)濕度的CVD試驗(yàn)和反應(yīng)。

雙溫區(qū)管式爐技術(shù)參數(shù):

項(xiàng)目

明細(xì)

雙溫區(qū)管式爐

供電電壓

AC110V;60Hz

工作溫度

1100℃

加熱速率

建議10/min

熱電偶類(lèi)型

B型熱電偶

爐管尺寸

 φ80OD)×φ74ID)×1000Lmm

爐管材料

高純石英

密封法蘭

帶有1/4英寸的氣體接口和真空接口

加熱溫區(qū)

200mm+200mm

溫度控制

1) PID全自動(dòng)控制加熱速率,冷卻速率以及保溫時(shí)間

2) PID控制超溫保護(hù)和短偶保護(hù)

3) 超溫保護(hù)在報(bào)警功能使該設(shè)備可在無(wú)人看管的情況下運(yùn)行

4) 溫度精度在±1(即顯示的溫度和實(shí)際溫度差)

加熱元件

電爐絲

蒸發(fā)器

容量

300mL

加熱套工作溫度

250℃

功能

有精密可編程溫度控制器控制;

容器上有兩個(gè)SS針閥和一個(gè)壓力表

濕度監(jiān)測(cè)器

安裝方式

KF25適配器連接至加工管法蘭

測(cè)量范圍

0-100%RH,1.5%FS精度,或-60°~+60°DP

測(cè)量精度

±0.3°

使用方法

調(diào)節(jié)蒸發(fā)器水內(nèi)溫度和H2氣體流量以達(dá)到所需濕度水平

三路防腐浮子流量計(jì)

閥門(mén)類(lèi)型

不銹鋼針閥

管道正常情況

關(guān)閉

氣體方式

3通道

連接尺寸

1/4”

壓力范圍

-0.1~0.15Mpa

管芯材質(zhì)

304不銹鋼

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