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CY-AR3000BG-T 4電弧提拉法單晶生長爐 |
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腔體 |
1、采用304不銹鋼腔體，帶有水冷夾層，可通入冷卻水 2、腔體上安裝有石英窗口，以便觀察樣品 3、腔體真空度：10-5Torr（采用分子泵） 4、腔體尺寸：Φ257*360mm |
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真空計 |
1、腔體上安裝有數(shù)顯防腐真空計和機械壓力表 |
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電弧槍 |
1、共有4個電弧槍，可讓樣品得到均勻的溫場（電弧槍都帶有冷卻水） 2、鎢電極直徑為Φ4mm 3、電弧腔體對樣品的角度和距離可手動調(diào)節(jié) 4、起弧電源： 18 V / 185 A 電壓380V 5、熔煉溫度可達3000℃
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樣品臺 |
1、采用水冷銅坩堝 2、可投入樣品量為60g(按鐵計算) |
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提拉機構(gòu) |
1、控制器控制提拉機構(gòu)的提拉速度，轉(zhuǎn)速和轉(zhuǎn)速 2、提拉速度：0.2-10mm/h 3、提拉行程：0-70mm 4、轉(zhuǎn)速：0-40RPM |
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控制單元 |
1、可顯示和設(shè)置單晶生長的參數(shù)（起弧電流，提拉桿轉(zhuǎn)速，提拉行程和轉(zhuǎn)速） |
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真空泵 |
1、設(shè)備中配有一分子泵系統(tǒng)（機械泵+渦旋分子泵） 2、抽氣速率：100L/S 3、可使設(shè)備腔體的真空度達到10-5Torr(40分鐘內(nèi)) |
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循環(huán)水冷機 |
1、功率：800W 2、水流速度：58L/min 3、制冷能力：5004W（17500Btu/hour） 4、溫度控制：5~30°C |
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設(shè)備尺寸：800mm（L）*800mm（W）*1500mm(H) |
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